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一种适合于计算机辅助测量的产生寿命确定方法

提出了MOS电容线性电压扫描法产生寿命测量的新方法.通过在MOS C-t曲线上读取n个不同时刻的电容值,计算出相应的产生寿命值,其精度......

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半导体产生寿命计算机辅助测量线性电压扫描法 Semiconductor Generationlifetime Computer-aidedmeasurem

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